气浮运动台主要有哪些优点

气浮运动台，随着半导体进入到快速发展的阶段，相应的加工检测设备也会逐渐的提高性能，所以有许多的公司都会用到气浮运动台，这是一款高精度的设备，主要作用于半导体加工、检测，微纳加工，测试测量等，但是它到底有哪些主要的优势。

1.   直线度和平面度高

2.   定位精度和重复定位高

3.   速度稳定性高

4.   偏摆、俯仰、滚动精度高

气浮运动台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到气膜刚度的参数区间有着高性能精度，实现速度2米/秒，能够拥有4G的加速度，而且承载的能力也非常的出色，所以在目前的市场上已经逐渐得到大家的认可，只是当我们在选择设备时，或许也会存在很多的疑惑，比如说要选择哪种材质的气浮导轨。

其实材质的选择是跟用户的应用有着紧密的联系，单从性价比角度了解，碳化硅陶瓷材质的气浮运动台精度高，当然成本也昂贵，铝合金与大理石材质的同样性能比较，铝合金的加工难度大些，成本较高，大理石的成本较便宜些。

利用的直线电机驱动，选择无铁芯设计，特点是无齿槽效应，高动态性能及电流噪音小等，所以在运动的过程中能够实现平稳的效果，另外配置光栅尺闭环反馈及性的控制系统，获得高定位精度和重复定位精度，控制器对光栅尺65536倍细分，获得纳米级微动步距。

所以从各个方向的优势来看，气浮运动台已经成为当前从事高精密应用行业的选择，能够提高整个系统的精度性能。